Method and device for plasma treating workpieces

Verfahren und vorrichtung zur plasmabehandlung von werkstücken

Procede et dispositif pour le traitement au plasma de pieces


L'invention concerne un procédé et un dispositif pour le traitement au plasma de pièces (5). Selon l'invention, la pièce est introduite dans une chambre (4) d'une station de traitement (17), chambre dans laquelle un vide au moins partiel peut être créé, puis au moins une partie (18) de la station de traitement est déplacée par rapport à une autre partie (27, 35) pour faciliter la manipulation des pièces. Ce déplacement est effectué de sorte qu'une paroi de chambre (18) en forme de gaine soit placée dans une certaine position par rapport à un fond de chambre (35) et par rapport à un couvercle de chambre (27).
Disclosed are a method and a device for plasma treating workpieces (5). Said workpiece is inserted into a chamber (4) of a treatment station (17), which can be at least partly evacuated, and at least one part (18) of the treatment station is moved relative to another part (27, 35) thereof in order to help manipulate the workpieces. The movement is carried out in such a way that a shell-shaped chamber wall (18) is positioned relative to a floor (35) of the chamber and relative to a chamber lid (27).
Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken (5). Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer (4) einer Behandlungsstation (17) eingesetzt und zur Unterstützung einer Handhabung der Werkstücke wird mindestens ein Teil (18) der Behandlungsstation relativ zu einem weiteren Teil (27,35) bewegt. Die Bewegung wird derart durchgeführt, dass eine hülsenförmige Kammerwandung (18) relativ zu einem Kammerboden (35) sowie relativ zu einem Kammerdeckel (27) positioniert wird.




Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (7)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    EP-1010773-A1June 21, 2000Kirin Beer Kabushiki KaishaProcede et appareil pour produire un recipient plastique presentant un pelliculage en carbone
    US-5084125-AJanuary 28, 1992Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.Apparatus and method for producing semiconductor substrate
    US-5762748-AJune 09, 1998Applied Materials, IncLid and door for a vacuum chamber and pretreatment therefor
    WO-0058631-A1October 05, 2000SidelConveyor for treating hollow bodies comprising an advanced pressure distribution circuit
    WO-0131680-A1May 03, 2001Sidel Actis ServicesVacuum circuit for a device for treating a receptacle with low pressure plasma
    WO-9522413-A1August 24, 1995The Coca-Cola CompanyRecipients creux a revetement interieur inerte ou impermeable applique par reaction superficielle au plasma ou polymerisation superficielle
    WO-9917334-A1April 08, 1999Tetra Laval Holdings & Finance S.A.Method and apparatus for treating the inside surface of plastic bottles in a plasma enhanced process

NO-Patent Citations (0)


Cited By (7)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    EP-1916315-A1April 30, 2008Sidel ParticipationsInternal barrier coating apparatus using microwave plasma for thermoplastic container
    FR-2907036-A1April 18, 2008Sidel ParticipationsInstallation de depot, au moyen d'un plasma micro-ondes, d'un revetement barriere interne dans des recipients thermoplastiques
    JP-2005350145-ADecember 22, 2005Schott Ag, ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG回転設備内で基材を処理する方法および装置
    US-7513953-B1April 07, 2009Nano Scale Surface Systems, Inc.Continuous system for depositing films onto plastic bottles and method
    US-8006641-B2August 30, 2011Sidel ParticipationsInstallation for depositing, by means of a microwave plasma, an internal barrier coating in thermoplastic containers
    US-9482802-B2November 01, 2016Sumitomo Chemical Company, LimitedMethod for producing long retardation film
    US-9696475-B2July 04, 2017Sumitomo Chemical Company, LimitedOptical film