Method and device for plasma treating workpieces

Verfahren und vorrichtung zur plasmabehandlung von werkstücken

Procede et dispositif pour le traitement au plasma de pieces

Abstract

L'invention concerne un procédé et un dispositif pour le traitement au plasma de pièces (5). Selon l'invention, la pièce est introduite dans une chambre (4) d'une station de traitement (17), chambre dans laquelle un vide au moins partiel peut être créé, puis au moins une partie (18) de la station de traitement est déplacée par rapport à une autre partie (27, 35) pour faciliter la manipulation des pièces. Ce déplacement est effectué de sorte qu'une paroi de chambre (18) en forme de gaine soit placée dans une certaine position par rapport à un fond de chambre (35) et par rapport à un couvercle de chambre (27).
Disclosed are a method and a device for plasma treating workpieces (5). Said workpiece is inserted into a chamber (4) of a treatment station (17), which can be at least partly evacuated, and at least one part (18) of the treatment station is moved relative to another part (27, 35) thereof in order to help manipulate the workpieces. The movement is carried out in such a way that a shell-shaped chamber wall (18) is positioned relative to a floor (35) of the chamber and relative to a chamber lid (27).
Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken (5). Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer (4) einer Behandlungsstation (17) eingesetzt und zur Unterstützung einer Handhabung der Werkstücke wird mindestens ein Teil (18) der Behandlungsstation relativ zu einem weiteren Teil (27,35) bewegt. Die Bewegung wird derart durchgeführt, dass eine hülsenförmige Kammerwandung (18) relativ zu einem Kammerboden (35) sowie relativ zu einem Kammerdeckel (27) positioniert wird.

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